?石英玻璃在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色?。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造的多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括單晶硅生長、晶圓加工和光刻與封裝等?。

石英玻璃在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用

1. ?單晶硅生長?：在單晶硅生長過程中，石英坩堝用于盛裝熔融硅并拉制單晶硅棒。石英坩堝的純度直接影響硅晶體的質(zhì)量。每生產(chǎn)1億美元芯片需消耗50萬美元高純石英材料?。
2. ?晶圓加工?：石英玻璃擴散管、石英舟、光掩膜基板等用于刻蝕、擴散、氧化等工序，確保在高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和抗污染能力。例如，半導(dǎo)體級石英砂需滿足特定雜質(zhì)元素的標準?。
3. ?光刻與封裝?：合成石英砂用于光刻機鏡頭等光學(xué)元件，滿足10nm以下制程的精度要求?。

石英玻璃的物理和化學(xué)特性

石英玻璃具有高透過率、低熱膨脹率、高硬度和耐久性等優(yōu)異的光學(xué)特性，這使得它成為高精度光掩膜基板制造的理想選擇。此外，石英玻璃具有高透過率、低熱膨脹率、出色的光譜特性以及高硬度和耐久性，適用于各種半導(dǎo)體制造工藝?。

制備工藝

石英玻璃的制備工藝包括熔煉石英玻璃和合成石英玻璃。熔煉石英玻璃常采用電熔工藝和氣煉工藝，而合成石英玻璃則可通過化學(xué)氣相沉積(CVD)、等離子化學(xué)氣相沉積(PCVD)以及間接合成法等技術(shù)實現(xiàn)。這些工藝確保了石英玻璃的高純度和優(yōu)良性能?。